真空泵的作用就是從真空室中抽除氣體分子，降低真空室內的氣體壓力，使之達到要求的真空度。概括地講從大氣到極高真空有一個很大的范圍，至今為止還沒有一種真空系統能覆蓋這個范圍。因此，為達到不同產品的工藝指標、工作效率和設備工作壽命要求、不同的真空區段需要選擇不同的真空系統配置。為達到Z佳配置，選擇真空系統時，應考慮下述各點：

確定工作真空范圍

　　首先必須檢查確定每一種工藝要求的真空度。因為每一種工藝都有其適應的真空度范圍，必須認真研究確定之。

確定極限真空度

　　在確定了工藝要求的真空度的基礎上檢查真空泵系統的極限真空度，因為系統的極限真空度決定了系統的Z佳工作真空度。一般來講，系統的極限真空度比系統的工作真空度低20%，比前級泵的極限真空度低50%。

被抽氣體種類與抽氣量

　　檢查確定真空泵工藝要求的抽氣種類與抽氣量。因為如果被抽氣體種類與泵內液體發生反應，泵系統將被污染。同時必須考慮確定合適的排氣時間與抽氣過程中產生的氣體量。

真空容積

　　檢查確定達到要求的真空度所需要的時間、真空管道的流阻與泄漏。 　　考慮達到要求真空度后在一定工藝要求條件下維持真空需要的抽氣速率。

主真空泵的選擇計算

　　s=2.303v/tlog(p1/p2) 　　其中： 　　s為真空泵抽氣速率(l/s) 　　v為真空室容積(l) 　　t為達到要求真空度所需時間(s) 　　p1為初始真空度(torr) 　　p2為要求真空度(torr)。